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光刻机巨头ASML称仍未获得向中国出口最新光刻机许可

Admin5 2022-01-20 20:18

据路透社报道，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）的首席执行官彼得·维尼克于1月19日表示，截至目前该公司仍未获得向中国出口用于制造芯片的最新光刻机的许可。

【组装中的ASML光刻机】

阿斯麦是光刻系统的主要制造商，光刻系统主要用于制造芯片。据此前报道，在美国政府的压力下，荷兰政府拒绝授予阿斯麦出口这些机器的许可，理由是这些机器被认为是具有军事用途的“两用”商品。

据此前报道，在2020年三季度财报发布后，阿斯麦的执行副总裁和CFO罗杰·达森（Roger Dassen）接受采访称，如果阿斯麦从荷兰向中国客户销售DUV（深紫外线）光刻系统，是不需要出口许可证的。但如果向中国客户直接出口涉及美国方面的零部件及系统，按照美国要求，就必须获得出口许可。这意味着，比DUV更先进的EUV（极深紫外线）光刻机的确不能直接卖给中国。

阿斯麦计划2022年将其生产能力提高到55台EUV光刻设备，到2023年达到每年超过60台。相比之下，该公司2020年生产了35台EUV光刻机。

彼得·维尼克表示，他认为中国目前不太可能独立掌握顶级光刻技术，因为阿斯麦依赖于"不懈的创新"，并整合了只有非中国供应商才能获得的组件。

他同时表示，中国并非永远无法掌握顶级光刻技术。他说，“因为我们所知道的物理定律，中国人也知道，他们一定会努力去掌握这项技术。永远不要说得太绝对。他们肯定在尝试。”

据2021财年二季度财报显示，阿斯麦前三大设备出货地分别是韩国（占比39%）、中国台湾（占比36%）、中国大陆（占比17%），当季该公司一共出货72套光刻系统（包括9台EUV）。

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